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[IT뉴스]반도체 공정 주요가스 15종 국내 자체 품질평가 체계 구축

온카뱅크관리자

2026-08-06 11:47:33

<div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> 한국표준과학연구원 
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 <img alt="표준연 연구진이 가스의 불순물 분석을 위해 가스크로마토그래프 내부의 분리 컬럼을 점검하고 있다. 표준연 제공" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202608/06/dongascience/20260806114538403zmny.jpg" data-org-width="680" dmcf-mid="KLuD1inQMD" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img4.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202608/06/dongascience/20260806114538403zmny.jpg" width="658">
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 표준연 연구진이 가스의 불순물 분석을 위해 가스크로마토그래프 내부의 분리 컬럼을 점검하고 있다. 표준연 제공
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 반도체 공정에 쓰이는 주요 가스 15종의 자체 품질평가 체계가 구축됐다. 공급업체가 제시하는 성적서에 의존하지 않고 반도체 공정 가스 품질을 국내에서 객관적으로 평가할 수 있는 기반을 마련한 성과다.
 한국표준과학연구원은 반도체 공정에 쓰이는 고순도 가스 15종의 순도분석기술과 시험절차를 확립하고 측정 정확도를 확인하는 인증표준물질 6종을 개발했다고 6일 밝혔다.
 2019년 일본의 수출규제와 글로벌 공급망 불안 사태 등을 거치며 반도체 소재의 국산화와 공급망 다변화 필요성이 대두됐지만 신규 소재를 도입하거나 공급처를 바꾸려면 장기간의 공정 검증과 상당한 비용이 소요된다는 점이 숙제다. 공정 가스에 포함된 극미량의 불순물도 수율 저하와 불량으로 이어질 수 있기 때문이다.
 업계에서는 공급업체가 발급한 자체 성적서와 오랜 사용 실적이 품질보증 역할을 해 왔다. 공급망 재편으로 국산 제품이나 신규 공급처의 제품 도입을 검토해야 하는 사례가 늘면서 품질을 객관적으로 입증하는 독립적인 시험 결과 수요가 늘었다.
 표준연은 2020년 불화수소 품질평가 서비스를 시작한 이래 단계적으로 대상을 늘려 식각·세정·증착용 고순도 가스 15종에 대한 순도분석 기반을 마련했다. 정확한 기준값이 부여된 주요 불순물 분석용 인증표준물질 6종도 함께 개발했다.
 순도분석은 가스에 포함된 수분·산소·탄화수소·금속성분 등 개별 불순물의 양을 측정한 뒤 이를 전체에서 제외해 최종 순도를 산출하는 방법이다. 예를 들어 순도가 99.9999%인 6N급 고순도 제품은 나머지 0.0001%에 포함된 극미량 불순물을 정확하게 측정하는 분석 역량이 필요하다.
 안전한 시험환경 조성을 위해 독성·부식성·폭발성이 강한 반도체용 가스를 취급할 특수 배관과 안전 캐비닛, 누출 감지 센서, 배출가스 후처리·공조설비를 구비하고 금속성 불순물 정밀 분석을 위한 전용 클린룸까지 구축했다.
 표준연은 현재까지 총 34건의 시험서비스를 제공했다. 국산화 및 공급 다변화가 활발히 진행 중인 불화수소 품목을 중심으로 시험 수요가 이어지고 있다. 시험 결과는 가스 제조기업의 자체 분석법 검증과 제조·정제공정 개선, 수입·국산제품 간 품질 비교 등에 활용된다.
 표준연은 민간 시험기관인 FITI시험연구원이 2030년을 목표로 구축 중인 '반도체 가스 품질·안전 평가지원센터'의 시설·설비 구성과 분석방법, 시험절차 개발 등에 대한 자문을 제공하며 후속 인프라 구축을 지원하고 있다.
 오상협 표준연 가스측정그룹 책임연구원은 "반도체 소재 국산화가 실제 산업 현장으로 이어지려면 제품의 품질을 신뢰할 수 있는 객관적 데이터로 입증하는 과정이 필수적"이라며 "국내 기업의 품질관리와 공급망 대응을 적극 뒷받침하겠다"고 밝혔다.
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 <img alt="반도체 공정용 고순도 가스 순도분석 기술 개발 연구진. 표준연 제공" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202608/06/dongascience/20260806114539610wgoy.jpg" data-org-width="680" dmcf-mid="9y5gyPQ9iE" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img1.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202608/06/dongascience/20260806114539610wgoy.jpg" width="658">
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 반도체 공정용 고순도 가스 순도분석 기술 개발 연구진. 표준연 제공
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 [이병구 기자 2bottle9@donga.com]
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