【드래곤 스포츠】 보증업체놀이터추천홍보 : 프로그램제작판매제작의뢰 : 스포츠분석 : 무료스포츠중계tv : 섹시bj움짤 : 뉴스 : 안구정화

로그인

글쓰기

[IT뉴스]플라텍, 램리서치 특허 무효분쟁 항소

온카뱅크관리자

2026-05-23 22:47:29

<div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> 플라텍, 14일 특허법원 항소...특허심판원은 유효 판단 
 <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> 
 <section dmcf-sid="UDQQFi4qoz">
 (지디넷코리아=이기종 기자)반도체 공정 부품업체 플라텍이 램리서치 특허가 유효라고 판단한 특허심판원 판단에 불복하고 특허법원에 지난 14일 심결취소소송을 제기했다.
 쟁점 특허는 램리서치의 '캠 고정 전극 클램프' 특허(등록번호 1708060)다. 전극 클램프는 반도체 식각 공정 챔버 내에서 상부 전극을 백킹 플레이트에 밀착·고정해 전기 연결과 열 전달을 돕는 소모성 부품이다. 
 <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="34e626931679d8c0e418c4fcc3330cf5aa2dedd4ae8257643e0a403523afd9da" dmcf-pid="zmRRpoPKjU" dmcf-ptype="figure">
 <img alt="(자료=플라텍)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202605/23/ZDNetKorea/20260523210107057dwax.png" data-org-width="638" dmcf-mid="5SE3K93GNv" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202605/23/ZDNetKorea/20260523210107057dwax.png" width="658">
 <figcaption class="txt_caption default_figure">
 (자료=플라텍)
 </figcaption>
 </figure>
 앞서 지난 4월 중순 특허심판원은 해당 특허에 대해 유효라고 판단(심결)했다. 플라텍이 지난 2024년 해당 특허를 상대로 무효심판을 청구하며 청구항(권리범위) 모두 무효라고 주장했지만 특허심판원은 받아들이지 않았다. 
 플라텍은 램리서치가 시작한 특허분쟁에 대응하기 위해 무효심판을 청구했다. 플라텍은 지난 4월 감사보고서에서 램리서치가 서울중앙지방법원에 특허침해소송을 제기했다고 밝혔다. 
 플라텍이 해당 특허에 대해 무효 판단을 받지 못하면, 특허침해소송에서 램리서치 특허를 침해하지 않았다고 주장해야 한다. 플라텍의 주요 고객사는 SK하이닉스다. 
 램리서치의 같은 특허를 상대로 또 다른 반도체 공정 부품업체 윌비에스엔티도 지난 2025년 특허심판원에 무효심판을 청구했다. 해당 무효심판 판단은 아직 나오지 않았다. 
 세계 식각장비 1위 램리서치는 플라텍처럼 SK하이닉스와 삼성전자 등에 반도체 공정 부품을 공급하는 '애프터마켓' 업체를 상대로 특허침해소송을 제기하고 있다. 애프터마켓 업체가 일반적으로 관련 부품을 낮은 가격에 공급한다. 램리서치 같은 장비업체는 관련 매출이 줄어들고 가격 경쟁력이 떨어진다.  
 <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="99bf7f45c25179189ee8679483c0606950f2d45b20c579d638315791f4875303" dmcf-pid="2IJJ7NMVo1" dmcf-ptype="figure">
 <img class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202605/23/ZDNetKorea/20260523210108297itkn.png" data-org-width="638" dmcf-mid="1sCBPQB3jS" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202605/23/ZDNetKorea/20260523210108297itkn.png" width="658">
 </figure>
 플라텍 외에 비씨엔씨, 월덱스, SHM(옛 원세미콘), CMTX 등이 램리서치와 특허분쟁 중이다. 
 CMTX는 지난 4월 특허심판원에서 램리서치의 '무선주파수 접지 복귀 장치들' 특허(등록번호 2201934)를 침해하지 않았다는 판단을 받았다. 같은 특허에 대해 CMTX는 지난 1월 특허심판원에서 무효라는 판단도 받았다. 특허심판원의 무효 판단에 대해 램리서치는 불복하고 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 
 지난해 CMTX는 램리서치의 또 다른 '무선주파수 접지 복귀 장치들' 특허(등록번호 2285582)에 대해서도 특허심판원에서 무효와 비침해 판단을 받았다. 이들 특허심판원 판단에 대해 램리서치는 불복하고 특허법원에 항소했다. 
 앞서 램리서치는 CMTX를 상대로 특허침해소송을 제기했다. 램리서치는 반도체 장비에 적용하는 C-링 특허 2건을 CMTX가 침해했다고 주장했다. C-링은 식각 공정 장비 내부에 장착하는 실리콘 부품이다. 고객사는 삼성전자다. 
 이기종 기자(gjgj@zdnet.co.kr)
 </section> 
 </div> 
 Copyright © 지디넷코리아. 무단전재 및 재배포 금지.

댓글 총 0개

이번주 포인트랭킹

매주 일요일 밤 0시에 랭킹을 초기화합니다.

14,000상품권
23,000상품권
32,000상품권

업체홍보/구인 더보기

놀이터홍보 더보기

지식/노하우 더보기

판매의뢰 더보기

포토 더보기