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[IT뉴스]7년전 개발된 '완벽진공' 시스템…"외산장악 반도체 공정 효자될까"

온카뱅크관리자

2026-04-05 10:17:32

<div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> 한국원자력연구원, 벡스코에 기술실시계약…고유량·고압·저진동·저소음 동시 구현 
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 (지디넷코리아=박희범 기자)방사능 폐기물 처분 실증 연구 과정에서 틈새로 개발된 진공펌프 원천기술이 개발 7년만에 반도체·디스플레이 공정용으로 빛을 볼지에 관심이 모아졌다.
 한국원자력연구원은 지난2일 벡스코(대표 류재경)와 '고효율 가압·진공 유체이송 시스템' 기술실시계약을 체결했다고 5일 밝혔다.
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 <img alt="한국원자력연구원이 개발한 유체이송 장치 구성도.(사진=원자력연구원)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202604/05/ZDNetKorea/20260405101126772mbil.jpg" data-org-width="638" dmcf-mid="UAR7wtDgWH" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202604/05/ZDNetKorea/20260405101126772mbil.jpg" width="658">
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 한국원자력연구원이 개발한 유체이송 장치 구성도.(사진=원자력연구원)
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 이 기술은 원자력연 처분성능실증연구부 권장순 박사 연구팀이 사용후핵연료 심층처분 시스템을 연구하던 중 틈새로 나온 로터리 피스톤 방식의 고효율 유체이송 시스템이다.
 원자력연은 "이는 원통형 구조 내부에서 로터(회전체)가 회전하며 유체를 흡입·가압·이송하는 완벽한 진공펌프시스템"이라며 "로터가 회전하면서 내부 공간이 넓어지면 압력이 낮아져 외부의 유체가 들어오고, 공간이 좁아지면 압력이 높아지면서 유체가 밀려 나가는 원리를 이용한다"고 설명했다.
 입수관, 출수관 방향을 바꿀 수 있어 양방향 유체 이동이 가능하며, 점도가 높은 액체도 안정적으로 처리한다. 또한 별도 외부 장치 없이 유체를 스스로 흡입하고, 진공 상태를 형성하는 등 다양한 기능을 하나의 장치로 구현했다.
 기존 회전식 펌프는 고압 형성에 한계가 있고, 왕복식 펌프는 구조가 복잡하고 유량이 제한적이다.
 이 같은 장점에도 그동안 활용처를 찾지 못하던 것.
 김경인 원자력연 기술사업화팀장은 "본 과제가 아니라 틈새로 개발된 연구라서 원천기술이면서도 이 기술을 어디에 적용해야 할지 찾지를 못하는 상황이 그동안 전개됐다"며 "과제는 2016년부터 2019년 수행됐다"고 말했다.
 원자력연 측은 정액기술료 1억원에 매출액의 1.5%를 경상기술료로 받는 조건으로 기술 실시계약을 체결했다. 특허 9건과 노하우 1건도 기술실시에 포함된다.
 실시기간은 계약 체결일로부터 10년이다. 누구나 이 기술을 원하면 쓸 수 있는 비독점 통상실시 계약을 체결했다.
 김 팀장은 "반도체·디스플레이 제조 공정에서 필요한 초고진공 환경 조성을 위한 고효율 진공펌프 수요가 꾸준히 증가하고 있다"며 "그럼에도 기존 진공펌프는 기밀성이 낮아 초고진공 상태를 만드는데 어려움이 있는 반면 이 기술은 거의 완벽한 진공을 만들 수 있다"고 말했다.
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 <img alt="한국원자력연구원과 벡스코가 지난 2일 기술실시계약을 체결한 뒤 기념촬영했다. 왼쪽부터 벡스코 류재경 대표, 한국원자력연구원 임인철 부원장, 기술보증기금 임상순 대전기술혁신센터장." class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202604/05/ZDNetKorea/20260405101128036konq.jpg" data-org-width="638" dmcf-mid="uWP0cXAiWG" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202604/05/ZDNetKorea/20260405101128036konq.jpg" width="658">
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 한국원자력연구원과 벡스코가 지난 2일 기술실시계약을 체결한 뒤 기념촬영했다. 왼쪽부터 벡스코 류재경 대표, 한국원자력연구원 임인철 부원장, 기술보증기금 임상순 대전기술혁신센터장.
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 이번에 기술실시계약을 체결한 벡스코는 이 기술을 반도체·디스플레이 공정용 고효율 진공펌프와 초고진공(UHV) 환경 제어 시스템 분야에 적용할 계획이다. 이 시장은 외산이 장악하고 있다.
 벡스코는 진공펌프 및 진공시스템을 생산·판매하는 전문기업이다.
 임인철 한국원자력연구원 부원장은 “원자력 연구 과정에서 확보한 고부가가치 원천기술"이라며 "해외 의존도가 높은 핵심 장비 분야에서 국산화 가능성을 제시했다는 점에서 의미가 크다. 앞으로도 개발한 기술이 산업 현장에서 활용될 수 있도록 지원할 것"이라고 말했다.
 박희범 기자(hbpark@zdnet.co.kr)
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