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[IT뉴스]세미콘 이색 전시 2題...자율주행로봇과 수중 초음파 검사장비

온카뱅크관리자

2026-02-15 14:27:31

<div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div>  <strong class="summary_view" data-translation="true">케이엠, 클린룸용 청소·환경 모니터링 로봇 전시<br>소닉스, 수중 반도체 초음파 검사 장비 공개</strong> 
        <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> 
         <section dmcf-sid="1PCAr9tWl6">
          <p contents-hash="fbcd6ea5043b7bfcf6b89c3c19ba03f63ce59a3cb2861d6be8cd97f575881472" dmcf-pid="tQhcm2FYW8" dmcf-ptype="general">[아이뉴스24 권서아 기자] 지난 11일부터 13일까지 서울 코엑스 일대에서 열린 '세미콘코리아 2026'에는 국내외 반도체 기업 550개 회사가 참가했다. 3일간 전시회를 둘러본 사람만 7만5000명에 달한다.</p>
          <p contents-hash="10d177bf035e9bc38a0ef1acdfd0bd758fe7d2c9f29c75d53b0cd213325cc9af" dmcf-pid="FxlksV3Gy4" dmcf-ptype="general">많은 참가 기업 중 특히 눈에 띄었던 이색 전시 제품 2가지를 소개한다. '클린룸(Clean Room·청정실)용 청소·환경 모니터링 로봇'과 '수중 반도체 초음파 검사(SAT) 장비'가 그것이다.</p>
          <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="456b44ecbc47f9e3e50265f6df17bed2e6866891645c4e87339555778a81f38b" dmcf-pid="3MSEOf0HCf" dmcf-ptype="figure">
           <p class="link_figure"><img alt="케이엠(KM)이 세미콘코리아 2026에 전시한 클린룸용 자율주행 로봇 '케이엠 봇'(KM Bot).[영상=권서아 기자]" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202602/15/inews24/20260215142217393djmx.gif" data-org-width="640" dmcf-mid="H0cwC8UZyM" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://t1.daumcdn.net/news/202602/15/inews24/20260215142217393djmx.gif" width="640"></p>
           <figcaption class="txt_caption default_figure">
            케이엠(KM)이 세미콘코리아 2026에 전시한 클린룸용 자율주행 로봇 '케이엠 봇'(KM Bot).[영상=권서아 기자]
           </figcaption>
          </figure>
          <h3 contents-hash="5168ee7429c712502aba803d2bdb739fda6a0016280aa4e28a16a5c33915df60" dmcf-pid="0RvDI4pXTV" dmcf-ptype="h3">케이엠, 클린룸용 청소·환경 모니터링 로봇 공개</h3>
          <p contents-hash="b376428bd6c926d812d13cd7111cb22d15e342aa594ff12c697cffcb14b81052" dmcf-pid="peTwC8UZC2" dmcf-ptype="general">클린룸 방진복과 방진 장갑 등을 생산하는 케이엠(KM)은 클린룸 내부 운용을 전제로 설계된 자율주행 로봇 '케이엠 봇'(KM Bot)을 선보였다.</p>
          <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="acbfb4ff430cd2a8ab102893e092cfc170d44ebe5496428b9d3a105ba5a15e06" dmcf-pid="Udyrh6u5T9" dmcf-ptype="figure">
           <p class="link_figure"><img alt="케이엠(KM) 내에 클린룸용 자율주행 로봇 '케이엠 봇'(KM Bot)이 전시장 내에서 이동 시연을 하고 있다. [사진=권서아 기자]" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202602/15/inews24/20260215142219012qoad.jpg" data-org-width="580" dmcf-mid="XfLNDb5Tlx" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202602/15/inews24/20260215142219012qoad.jpg" width="658"></p>
           <figcaption class="txt_caption default_figure">
            케이엠(KM) 내에 클린룸용 자율주행 로봇 '케이엠 봇'(KM Bot)이 전시장 내에서 이동 시연을 하고 있다. [사진=권서아 기자]
           </figcaption>
          </figure>
          <p contents-hash="4f1b7e7b651eb6f0bf497502dd782c6a10a86198978943df22d44af35e0fe5f2" dmcf-pid="uJWmlP71hK" dmcf-ptype="general">케이엠 관계자는 "이 로봇은 클린룸 안에서 쓸 수 있도록 센서와 모니터링 기능을 추가한 로봇"이라며 "파티클(제조 공정 속 입자) 측정뿐만 아니라 온·습도 등 다양한 환경 정보도 모니터링할 수 있다"고 말했다.</p>
          <p contents-hash="e22da6b29e1340d6b4bad52d8aa03d1c4712065a023426752f04527f45256383" dmcf-pid="7IbtuEd8Tb" dmcf-ptype="general">이 장비는 공기입자 제거(HEPA) 필터와 파티클 카운터 센서로 공기 중 미립자(보이지 않는 빛의 물결 입자) 농도를 측정할 수 있다. 충돌 방지 범퍼와 자동 충전 기능, 24시간 연속 무인 운행 시스템으로 24시간 무인 운영도 가능하다. 또 온·습도, 풍속, 산소농도, 유해가스 등 환경 데이터를 실시간 모니터링한다.</p>
          <p contents-hash="7ecda46b4c0b4e253493af9fa945206ee1d16b2e068a13aa290fe7f467000e39" dmcf-pid="zCKF7DJ6WB" dmcf-ptype="general">반도체 생산 공정은 미세 입자(분진)가 수율(전체 생산품에서 양품 비율) 저하로 이어지는 만큼 공기 중 미립자 제어가 필수적이다. 자동화 설비 증가로 장비 마찰 등 새로운 파티클 발생 요인도 관리 대상에 포함되면서 클린룸 운영 기술의 중요성이 커지고 있다.</p>
          <h3 contents-hash="32c33449b6b10b7f48b3fa8344fcb71efbdba6f3526d687c8a3c64e8061867c0" dmcf-pid="qh93zwiPhq" dmcf-ptype="h3">소닉스, 수중 반도체 초음파 검사 장비 전시</h3>
          <p contents-hash="331123aabe0a8890858cac15acfa287a39ae35077febeb2f725d3e5f7c21d13a" dmcf-pid="Bl20qrnQhz" dmcf-ptype="general">미국 소닉스(Sonix)는 반도체 패키징 및 웨이퍼 본딩(접합) 이후 고대역폭 메모리(HBM)의 내부 결함을 찾는 수중 반도체 초음파 검사 장비 'ECHO-VS'를 선보였다.</p>
          <p contents-hash="554f5ed7a386cac1e89d45f7181129880e9ac0d71c789355a499d95af7357e1a" dmcf-pid="bSVpBmLxC7" dmcf-ptype="general">소닉스는 지난 1986년 설립된 미국 반도체 검사장비 기업으로, 마이크로전자용 초음파 비파괴 검사 기술 개발에 특화돼 있다. 자동화 초음파 웨이퍼 검사 장비 분야에서 70% 이상의 시장 점유율을 보유한 것으로 알려졌다.</p>
          <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="4e5499c6e79f174ab9ca70b81006b8662e2cbd84e02140fc706cea815aa40394" dmcf-pid="KvfUbsoMyu" dmcf-ptype="figure">
           <p class="link_figure"><img alt="소닉스(Sonix)가 세미콘코리아 2026에 전시한 수중 반도체 초음파 검사 장비(ECHO-VS)가 웨이퍼 내부 결함을 검사하고 있다.  [사진=권서아 기자]" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202602/15/inews24/20260215142220652saqa.gif" data-org-width="640" dmcf-mid="ZYEiNUWIhQ" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://t1.daumcdn.net/news/202602/15/inews24/20260215142220652saqa.gif" width="640"></p>
           <figcaption class="txt_caption default_figure">
            소닉스(Sonix)가 세미콘코리아 2026에 전시한 수중 반도체 초음파 검사 장비(ECHO-VS)가 웨이퍼 내부 결함을 검사하고 있다. [사진=권서아 기자]
           </figcaption>
          </figure>
          <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="abdb7ab95f68902108727ac7d3c21d378bf4282da96b20fec8e003dfb2b3ada3" dmcf-pid="9T4uKOgRvU" dmcf-ptype="figure">
           <p class="link_figure"><img alt="소닉스의 수중 반도체 초음파 검사 장비 'ECHO-VS'와 검사 결과 모니터링 화면이 함께 전시된 모습. [사진=권서아 기자]" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202602/15/inews24/20260215142222186qqjp.jpg" data-org-width="580" dmcf-mid="5AFTXnfzlP" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202602/15/inews24/20260215142222186qqjp.jpg" width="658"></p>
           <figcaption class="txt_caption default_figure">
            소닉스의 수중 반도체 초음파 검사 장비 'ECHO-VS'와 검사 결과 모니터링 화면이 함께 전시된 모습. [사진=권서아 기자]
           </figcaption>
          </figure>
          <p contents-hash="a867f0e2e1d297bd3ac75616bbd9b23257d0f1d0e18396b1958ca9a40718214b" dmcf-pid="2y879Iaehp" dmcf-ptype="general">이 장비는 웨이퍼 본딩 이후 내부에 형성될 수 있는 보이드(공기층) 등 미세 결함을 초음파 투과 방식으로 확인한다. 초음파는 매질(파동을 전해주는 물질)이 존재할 때만 전달되고 공기층에서는 신호가 전달되지 않는다.</p>
          <p contents-hash="a03b58b06f3c4f7a19478957af71d38e8cea912455196ef5204569bc0416a941" dmcf-pid="V5e2PyDgh0" dmcf-ptype="general">소닉스 관계자는 "웨이퍼를 두 장 붙이는 본딩 공정을 한 이후에는 내부에 파티클로 인해 보이드가 생길 수 있다"며 "초음파는 내부에 투과가 가능하기에 물을 매질로 이용해 이런 결함을 확인할 수 있다"고 말했다.</p>
          <p contents-hash="854916992f7dfc349e45d64f9f0ef609cc83a8301c6f0c756849da8ca518a51f" dmcf-pid="f1dVQWwah3" dmcf-ptype="general">해당 장비는 패키징과 웨이퍼 공정에서 주로 사용된다.</p>
          <address contents-hash="94f6de11d06251e08c938e7048f574747580df52d29b1f1d9e372d58b2361097" dmcf-pid="4tJfxYrNWF" dmcf-ptype="general">/권서아 기자<span>(seoahkwon@inews24.com)</span>
</address>
         </section> 
        </div> 
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