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[IT뉴스][유리기판 테크데이] 레이저앱스 “미세균열 없는 절단 구현”

온카뱅크관리자

2025-04-16 15:07:32

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        <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> 
         <section dmcf-sid="fKZjOcrRDi">
          <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="d7805c4bcfde73434bedbc83148c49b257a5ee9c87f94130582fef6e5f8f0dd3" dmcf-pid="495AIkmeIJ" dmcf-ptype="figure">
           <p class="link_figure"><img alt="'전자신문 테크데이 : 반도체 유리기판의 모든 것' 콘퍼런스가 16일 서울 강남구 포스코타워에서 열렸다. 전은숙 레이저앱스 대표가 ' 반도체 유리기판용 SEWARE-less laser Singulation'을 주제로 발표하고 있다。 김민수기자 mskim@etnews.com" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202504/16/etimesi/20250416150605609yosi.jpg" data-org-width="700" dmcf-mid="V03DSrCnIn" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202504/16/etimesi/20250416150605609yosi.jpg" width="658"></p>
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            '전자신문 테크데이 : 반도체 유리기판의 모든 것' 콘퍼런스가 16일 서울 강남구 포스코타워에서 열렸다. 전은숙 레이저앱스 대표가 ' 반도체 유리기판용 SEWARE-less laser Singulation'을 주제로 발표하고 있다。 김민수기자 mskim@etnews.com
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          <p contents-hash="e03d791759486f07ba511ded8dcb0a12fba8fab639d369cba590c2b7f79345c7" dmcf-pid="821cCEsdmd" dmcf-ptype="general">레이저앱스가 미세균열 없이 유리를 절단할 수 있는 기술을 공개했다. 유리 내부를 녹여 절단하는 방식으로 미세균열 없는, 매끈한 단면을 공개해 관심이 집중됐다.</p>
          <p contents-hash="0767493973e3f4eb7e6555b9a3ec4fa3dfd975f132b1d9efdbdc992a747536f7" dmcf-pid="6VtkhDOJwe" dmcf-ptype="general">전은숙 레이저앱스 대표는 16일 전자신문 주최 '테크데이 : 반도체 유리기판의 모든 것'에서 “10여년간 개발한 '플라즈마 멜팅 컷'은 유리기판에 미세균열을 발생시키지 않고, 추후 세와레(SeWaRe) 우려도 없이 절단할 수 있는 솔루션”이라면서 상세 기술을 소개했다.</p>
          <p contents-hash="cad967f8e3daf6f2a38efae0ae95269fbdd7033888b19471238cc135664ec4a8" dmcf-pid="PfFElwIiIR" dmcf-ptype="general">레이저앱스는 2012년 설립된 초정밀 레이저 가공 및 응용장비 개발 기업이다. 디스플레이 시장을 겨냥해 절단(Singulation) 솔루션을 개발해왔고 반도체용 유리기판 시장 대응은 2021년부터 준비해왔다.</p>
          <p contents-hash="6c10bfa08b9fe2594e4f70ebe51d2a9db637e2570080dfe81c21cd4318732a44" dmcf-pid="Q43DSrCnIM" dmcf-ptype="general">전 대표는 유리기판 상용화의 가장 큰 도전과제가 '싱귤레이션 공정'이라고 지목했다. 유리기판은 유리에 100여개 공정을 통해 전기적 신호가 흐르는 배선과 구조물을 형성한 뒤 최종적으로 자르기 때문이다. 소재 특성상 이때 미세균열이 발생한다면 향후 파손될 가능성이 커진다.</p>
          <p contents-hash="b0b3dea17372b292da1fe367f55fced714eaeed99f932816e7d4d15fecc04b3e" dmcf-pid="x80wvmhLDx" dmcf-ptype="general">특히 유리 표면의 재배선(RDL) 레이어가 유리 대비 두껍다면 잔재 미세 균열이 상호 열팽창 계수(CTE) 차이에 따른 응력으로 커질 우려가 크다. 이는 유리기판 뒤틀림 현상을 넘어 파손으로 이어질 수 있다. RDL 레이어 두께를 줄이면 유리 깨짐이나 기판이 찢어지며 들뜨는 세와레 현상을 방지할 수 있으나 성능이 저하된다.</p>
          <p contents-hash="939b1ae9818cd2de232e1c620d76ea1be43cb93c32884190355782ade0f5f492" dmcf-pid="ylNBPK41wQ" dmcf-ptype="general">전 대표는 “고객사와 함께 플라즈마 멜팅 컷으로 레이어 두께가 450마이크로미터(㎛)인 유리기판을 미세균열 없이 절단해낼 수 있음을 확인했다”면서 실제 절단면 사진을 공개했다.</p>
          <p contents-hash="94e67ff0ce3783d4dc3b5daf2d229cb4b2f1c599d498314733b06a26ad17849c" dmcf-pid="WSjbQ98tEP" dmcf-ptype="general">레이저앱스의 플라즈마 멜팅 컷은 펨토초 레이저를 사용해 유리 내부에 플라즈마 융해점(멜팅 스팟)을 만들어 녹인 뒤 절단하는 방식이다. 기존의 기계적 휠 절단이나 이산화탄소(CO₂) 레이저, 베셀(Bessel) 레이저와는 완전히 다른 독자 기술이다. 자체 개발한 광학계를 사용해 구현한다. 515×510㎜ 유리기판을 100×100㎜ 크기로 나눠 자르는데 필요한 시간은 5분 내외다.</p>
          <p contents-hash="bb4966bd3aa3302d6ce0f151b0a52e37e1be5b7e01f41e3d20440b74391a4d61" dmcf-pid="YvAKx26FE6" dmcf-ptype="general">전 대표는 “플라즈마 멜팅 컷으로 절단하면 미세균열 없이 깨끗하기 때문에 추가적 연마 공정이 필요하지 않다”며 “사실 화학기계적연마(CMP)는 유리기판 내부 미세균열을 더욱 키울 수 있기에 이뤄지면 안 되는 공정”이라고 지적했다.</p>
          <p contents-hash="b9a026a6c3fd01b40b28adba0e641a960695a2175d77c0a8f71d4cfcae1bcc37" dmcf-pid="GTc9MVP3m8" dmcf-ptype="general">미세크랙이 없기에 유리 강도도 뛰어나다고 설명했다. 전 대표는 고객사와 진행한 0.2~2㎜ 유리 기준 유리의 굽힘 강도 테스트에서 150메가파스칼(MPa)을 기록했다고 전했다. 이는 경쟁사들의 100~110Mpa보다 높은 수준이라고 강조했다.</p>
          <p contents-hash="15583bfff92a1228a852a2b0e2160ff8fec9a70347273cca9ccb74b297c3721d" dmcf-pid="Hwd3Kpqym4" dmcf-ptype="general">전 대표는 “유리기판은 미세균열 제어가 아닌 미세균열이 없도록 하는 것을 목표로 해야 하고, 레이저앱스는 그에 필요한 절단 솔루션을 공급할 수 있는 회사”라며 “향후 플라즈마 멜팅 기술을 기반으로 유리관통전극(TGV) 공정 장비도 개발할 예정”이라고 말했다.</p>
          <p contents-hash="2b5c10bcdb6b996081a52ec687c293c835b9eb63d2214bdd695cf25ba7e3fd1d" dmcf-pid="XrJ09UBWwf" dmcf-ptype="general">박진형 기자 jin@etnews.com</p>
         </section> 
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        <p class="" data-translation="true">Copyright © 전자신문. 무단전재 및 재배포 금지.</p>

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