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[IT뉴스]차세대 HBM용 본딩 고민하는 삼성전자, '플럭스리스' 평가 돌입
온카뱅크관리자
조회:
74
2025-03-04 17:27:27
<div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">[이슈진단+] 고적층 HBM 플럭스리스 시대가 온다①</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="4IgXUgNfUK"> <p contents-hash="27bf98d6ceab84c1131126cd2f83f56793c872740bb1e9ccdfcfdf881320df38" dmcf-pid="8CaZuaj40b" dmcf-ptype="general">(지디넷코리아=장경윤 기자)삼성전자가 고적층 HBM(고대역폭메모리)을 위한 새로운 본딩 기술로 '플럭스리스(Fluxless)'에 주목하고 있다. 최근 주요 협력사와 관련 장비에 대한 데모 테스트에 돌입한 것으로 파악됐다. </p> <p contents-hash="9e474456d9b2ea78eb53241c01622c653827794851ee791ebba9556d9beb0d7b" dmcf-pid="6hN57NA83B" dmcf-ptype="general"><span>'플럭스리스' 기술이 아직은 연구개발(R&D) 수준으로 평가되는 단계지만, 업계에선 차세대 HBM용 본딩 기술의 잠재적 후보로서 진지한 고민이 이뤄지고 있다는 평가가 나온다.</span></p> <p contents-hash="11fac3702c156671c2a0a096d3118cc880ae0be00efde9519e8a698bca495ed9" dmcf-pid="Plj1zjc60q" dmcf-ptype="general"><span>4일 업계에 따르면 삼성전자는 차세대 </span><span>HBM용 </span><span>본딩 기술로 플럭스리스를 비롯한 다양한 방안을 검토하고 있다. </span><span>이를 위해 삼성전자는 올해 초부터 해외 주요 협력사와 플럭스리스 본딩에 대한 초기 평가 작업을 시작했다. 적용처는 HBM4(6세대)로, 올 연말까지 평가를 마무리하는 것이 목표다.</span></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="db36c336aa9750663290df4d07474f3c7abb57c9a95692ed680f7628c680819b" dmcf-pid="QSAtqAkPzz" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="삼성전자의 HBM3E 제품 이미지(사진=삼성전자)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202503/04/ZDNetKorea/20250304171700282wzmq.png" data-org-width="639" dmcf-mid="0Jbar7qyz3" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202503/04/ZDNetKorea/20250304171700282wzmq.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 삼성전자의 HBM3E 제품 이미지(사진=삼성전자) </figcaption> </figure> <p contents-hash="58631cf0ce8eabd0b68b83e959aaa03b69c596552ffd456492b3c01fa1e144e4" dmcf-pid="xpTfeTWAu7" dmcf-ptype="general"><strong>플럭스리스 본딩, 고적층·고밀도 HBM 구현에 용이</strong></p> <p contents-hash="ff4f764e38e9fa07b138693d64b15fe8edd79a3d19e95db0222e1511f078aa8e" dmcf-pid="yjQCGQMUpu" dmcf-ptype="general"><span>현재 삼성전자는 HBM 제조를 위한 후공정 기술로 'NCF(비전도성 접착 필름)'를 채택하고 있다.</span></p> <p contents-hash="99952286eabec0339b4b760485d87536d9be9993e4228036634829747ddb4145" dmcf-pid="WAxhHxRuUU" dmcf-ptype="general"><span>HBM은 여러 개의 D램을 수직으로 적층해 데이터 처리 성능을 높이는 메모리반도체다. TSV(실리콘관통전극)를 통해 각 D램에 미세한 구멍을 뚫고, 이를 전기적으로 연결하는 구조다. 각 D램을 연결하기 위해서는 작은 돌기 형태의 마이크로 범프가 쓰인다.</span></p> <p contents-hash="53507715a90a43e5c895ef1c71bb85dbadb67740bdca88cf000f72f9192b8b41" dmcf-pid="YcMlXMe7up" dmcf-ptype="general"><span>삼성전자는 층층이 쌓인 각 D램 사이에 NCF를 집어넣고, 위에서부터 열압착을 가하는 TC 본딩 공정을 진행해 왔다. NCF가 고온에 의해 녹으면서 범프와 범프를 연결하고 칩 사이를 고정하는 역할을 맡는다.</span></p> <p contents-hash="f24541efb7562cb44af46bc450969330b4785373f7720063d52a7727b2fef197" dmcf-pid="GkRSZRdzu0" dmcf-ptype="general"><span>반면 플럭스리스는 MR-MUF(매스리플로우-몰디드언더필)에 주로 적용되는 기술이다. MR-MUF는 필름을 사용하지 않고 액체 형태의 'EMC(에폭시 고분자와 무기 실리카를 혼합한 몰딩 소재)'를 활용한다.</span></p> <p contents-hash="13f0c9d1a0ceb00a2237cd9e43a8df7a5b9d6f34c28e857ee0db47c2ccfa0a05" dmcf-pid="HEev5eJq73" dmcf-ptype="general"><span>MR-MUF는 D램을 하나씩 쌓을 때마다 열로 임시 접합한 다음, 완전히 적층된 형태에서 열을 가해(리플로우) 접합을 마무리하는 과정을 거친다. 이후 각 칩 사이에 EMC를 빈틈없이 주입한다. EMC는 각 칩을 지지하는 '언더필(Underfill)'과 외부 오염 방지 등의 역할을 수행한다.</span></p> <p contents-hash="865fd42a99263633b51d4a66b4b6c17a536fc073e6870c053c99b3072177de72" dmcf-pid="XDdT1diB0F" dmcf-ptype="general"><span>기존 MR-MUF에는 범프에 잔존하는 산화막을 제거하기 위해 플럭스라는 물질을 도포한 뒤 씻어냈다. 그런데 HBM의 입출력단자(I/O) 수가 HBM4에서 이전 대비 2배인 2024개로 늘어나고, D램의 적층 수가 많아지면 범프 사이의 간격도 줄어들게 된다. 이 경우 플럭스가 제대로 세정되지 않아 칩 신뢰성에 손상이 갈 수 있다.</span></p> <p contents-hash="f81149118e8ba5236192b199394501d917ac728a7f46e5d25258dd18cbf2e917" dmcf-pid="ZwJytJnbpt" dmcf-ptype="general"><span>이에 반도체 업계는 플럭스리스 본딩을 고안해냈다. 장비업체에 따라 플럭스리스에 대한 기술적 방식은 다르나, 플럭스를 쓰지 않고 범프 주변의 산화막을 제거하는 것이 핵심이다.</span></p> <p contents-hash="8313a4d199efd07c4ff30fd651913bb2e4990081df3719d1810cee3b0007d2f3" dmcf-pid="5riWFiLKp1" dmcf-ptype="general"><strong>삼성전자, 차세대 HBM용 본딩 다방면 검토…"고민 깊을 것"</strong></p> <p contents-hash="d1a3d021d7f42189c30167db97a03e80cb7dca44aff13ab6c977be19829bdd6a" dmcf-pid="1mnY3no9U5" dmcf-ptype="general"><span>삼성전자 역시 이 같은 장점에 주목해 플럭스리스 본딩 적용을 면밀히 검토해 온 것으로 알려졌다.</span></p> <p contents-hash="7778b10d46f8bf04c92cef5aebaa73bb11a442e68607c3df4f9266b0e35acfb3" dmcf-pid="tWDp9DrRpZ" dmcf-ptype="general"><span>사안에 정통한 관계자는 "삼성전자가 당초 로직 반도체에 플럭스리스 본딩을 첫 도입하려 했으나, 메모리에 투자를 집중하면서 먼저 HBM4향으로 적용 평가에 들어간 것으로 안다"며 "올해 말까지 양산 인증을 받는 것이 목표"라고 설명했다.</span></p> <p contents-hash="cd0dfe28697e915236cd0ca005b27767dbe351a704832e7bb7cde2b611f52cc0" dmcf-pid="FYwU2wme3X" dmcf-ptype="general"><span>삼성전자가 실제로 차세대 HBM 본딩 공정에 플럭스리스 기술을 적용할 지는 아직 미지수다. 현재 삼성전자는 기존 본딩인 NCF 기술 고도화는 물론</span><span>, 차세대 본딩 기술인 </span><span>'하이브리드 본딩'에 대한 연구개발도 병행하고 있다. </span><span>하이브리드 본딩은 범프 없이 구리 배선을 직접 붙이기 때문에 HBM의 두께를 줄이는 데 유리하다.</span></p> <p contents-hash="8732b5df0a0d987b014a39ab278c201e13ce98899acbe5abcee77aa421fd3eed" dmcf-pid="3GruVrsdpH" dmcf-ptype="general"><span>때문에 업계는 삼성전자가 HBM4용 본딩 기술로 ▲NCF ▲플럭스리스 ▲하이브리드 본딩 등 크게 세 가지의 가능성을 모두 고려하면서 향후 기술 전략을 짤 것으로 보고 있다.</span></p> <p contents-hash="0ef2704a2b3996f60319e7f759dfc84f4696f42d319ef7535a567d66384f1ccc" dmcf-pid="0Hm7fmOJuG" dmcf-ptype="general"><span>또 다른 관계자는 "NCF는 범프 수와 D램 적층 수가 많아질수록 신뢰성 및 방열 특성을 제대로 구현하기 어렵고, 하이브리드 본딩도 기술적 성숙도가 부족한 상황"이라며 "때문에 </span><span>플럭스리스를 하나의 대안으로서 고려 중이나, 이 역시 장비 인프라를 다 변경해야 하는 부담으로 삼성전자의 고민이 깊을 것"이라고 밝혔다.</span></p> <p contents-hash="5697029359f105bcd24e0567bdebcb21622533fdeef4e6fab16c0f524cc01f90" dmcf-pid="pXsz4sIi3Y" dmcf-ptype="general"><strong>SK하이닉스도 플럭스리스에 </strong><strong>관심 지속</strong></p> <p contents-hash="0c0fa1047d2f7dbea05f6948db3a95d02bcb5db08e2b9dd26b1880b591592bfe" dmcf-pid="UZOq8OCn3W" dmcf-ptype="general"><span>한편 </span><span>SK하이닉스도 </span><span>HBM4에 </span><span>플럭스리스 </span><span>본딩을 </span><span>적용하는 </span><span>방안을 </span><span>고려 </span><span>중이다. </span><span>SK하이닉스의 </span><span>경우 </span><span>MR-MUF를 </span><span>적용해 </span><span>왔기 </span><span>때문에, </span><span>플럭스리스 </span><span>기술에 </span><span>대한 </span><span>접근성이 </span><span>더 높다.</span></p> <p contents-hash="40edee95a6a20d649e65e520cde1da67a487bed846118faf6be8e24d95d30fa3" dmcf-pid="u5IB6IhL3y" dmcf-ptype="general"><span>다만 SK하이닉스가 플럭스리스를 적용하려는 시기는 빨라야 HBM4 16단 수준으로 알려졌다. 그간 MR-MUF 기술을 지속적으로 다뤄오면서, 플럭스 세정에 대한 기술적 노하우가 상당히 쌓였다는 평가다.</span></p> <p contents-hash="09ebf6406cc173725295c20f176b7fb788d69b40767ebb82fdcf2995e48fb398" dmcf-pid="71CbPCloFT" dmcf-ptype="general"><span>반도체 업계 관계자는 "SK하이닉스는 HBM4 16단을 목표로 기존 기술과 플럭스리스를 병행 개발하고 있다"며 "현재는 어드밴스드 MR-MUF로도 충분히 대응할 수 있지만, D램 적층 수가 올라가 칩 사이 간격이 더 줄어들게 되면 플럭스리스를 쓸 수 밖에 없는 상황"이라고 말했다.</span></p> <p contents-hash="5b1971aadd881fa68ab5e644effb447ddc4a26ec9be6e73b649a11571ff82c86" dmcf-pid="zthKQhSgFv" dmcf-ptype="general">장경윤 기자(jkyoon@zdnet.co.kr)</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 지디넷코리아. 무단전재 및 재배포 금지.</p>
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